亚微米紫外光刻机

仪器分类分子相互作用
仪器状态
所属单位中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心
仪器生产商 Karl SUSS
购置日期 2013-11-21
使用模式项目委托,按时预约
规格型号 MA_BA6
放置房间号安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼
仪器介绍

使用指南

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