聚合物刻蚀机

聚合物刻蚀机

  • 仪器分类 分子相互作用
  • 仪器状态
  • 所属单位 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心
  • 仪器生产商 xford instruments Plasma Technology
  • 购置日期 2018-06-12
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 NGP80 RIE
  • 放置房间号 微纳研究与制造中心
  • 仪器介绍

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