LPCVD系统

LPCVD系统

  • 仪器分类 分子相互作用
  • 仪器状态
  • 所属单位 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心
  • 仪器生产商 TYSTAR
  • 购置日期 2017-09-28
  • 使用模式 按时预约
  • 规格型号 Mini-Tystan 3600
  • 放置房间号 ----
  • 仪器介绍

使用指南

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FAQ

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