紫外光刻系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： NSR2005I10C

放置房间号： ----

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电子束曝光系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Pioneer two

放置房间号： ----

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时间分辨荧光光谱

仪器分类：激光仪器

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Pharos

放置房间号： ----

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氦离子显微镜

仪器分类：显微成像

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Orion Nanofab

放置房间号： ----

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失效分析系统

仪器分类： X-射线衍射仪

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Dage Quadra 7

放置房间号： ----

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X射线显微系统

仪器分类： X-射线衍射仪

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Xradia 520 Versa

放置房间号： ----

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湿法清洗刻蚀系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： ----

放置房间号： ----

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ICP低温刻蚀系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： ----

放置房间号： ----

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聚合物刻蚀机

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： NGP80 RIE

放置房间号：微纳研究与制造中心

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金刚石刻蚀系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： PlasmaPro 100System Cobra180

放置房间号： ----

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扫描探针显微镜

仪器分类：显微成像

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Dimension Icon

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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辐射标定光源

仪器分类：（待分类）

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 综合科研仪器共享中心-第七中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ----

放置房间号： ----

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高温箱式炉

仪器分类：（待分类）

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 综合科研仪器共享中心-第七中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ----

放置房间号： ----

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气相色谱仪

仪器分类：（待分类）

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 综合科研仪器共享中心-第七中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ----

放置房间号： ----

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200kW 6路交流电弧等离子体实验系...

仪器分类：（待分类）

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 综合科研仪器共享中心-第七中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ----

放置房间号： ----

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