仪器生产商：
KLA-Tencor Corp
资产编号：
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资产负责人：
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购置日期：
2015-12-07
仪器产地：
美国
仪器供应商：
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购买经办人：
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主要配件：
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主要参数：
扫描长度范围：200mm；垂直测量范围<1mm;探针压力：0.5-50mg；样品尺寸：最大6英寸；探针曲率半径：2um；重现性：4埃@1um标样
分类描述：
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仪器介绍：
探针根据设定的扫描长度、速度和接触力在样品表面移动，由于表面有微小的峰谷使探针
在移动的同时还沿峰谷做上下运动，探针的运动情况反映了样品表面的高度起伏变化。主要用
于材料的结构及表面解析。
主要仪器管理员：
彭金兰(电话:15375274390)
仪器管理员：
温晓镭(电话:15665519472)
工作时间：
09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：
0.5 小时
最大可预约时间段：
168 小时
日历最小单位：
0.5 小时
最近提前预约时间：
未授权用户: 24小时；
普通资格用户: 24小时；
资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：
未授权:
720 小时 0 点；
普通:
720 小时 0 点；
资深:
720 小时 0 点
预约保护时间：
15 分钟
失约保护时间：
15 分钟
断电延时时间：
30 秒
最短重上电时间：
5 秒
使用超时提醒：
120 秒
最大有效预约次数：
3 次
无代价撤销预约时间：
1440 分钟
| 用户资格 |
工作时间 |
非工作时间 |
| 未授权资格 |
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| 普通资格 |
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| 资深资格 |
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ustc.edu.cn