仪器生产商：
Saratoga Technology International
资产编号：
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资产负责人：
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购置日期：
2013-05-20
仪器产地：
美国
仪器供应商：
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购买经办人：
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主要配件：
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主要参数：
射频源最大功率：1000W；工作频率：13.56MHz；笼式反应腔体电极；工艺气体：CF4 O2；典型光刻胶刻蚀速率：80nm/min；典型工艺均匀性：10%
分类描述：
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仪器介绍：
通过在反应腔内布置的电极之间产生辉光放电现象，使得工艺气体被电离成为带电等离
子体，促进光刻胶与工艺气体的反应，生成可挥发物质，从而达到去除光刻胶的目的。主要用
于光刻胶的剥离、材料的表面处理及表面改性等。
主要仪器管理员：
王秀霞(电话:13856929626)
仪器管理员：
温晓镭(电话:15665519472)
工作时间：
09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：
0.5 小时
最大可预约时间段：
168 小时
日历最小单位：
0.5 小时
最近提前预约时间：
未授权用户: 24小时；
普通资格用户: 24小时；
资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：
未授权:
720 小时 0 点；
普通:
720 小时 0 点；
资深:
720 小时 0 点
预约保护时间：
15 分钟
失约保护时间：
15 分钟
断电延时时间：
30 秒
最短重上电时间：
5 秒
使用超时提醒：
120 秒
最大有效预约次数：
3 次
无代价撤销预约时间：
1440 分钟
| 用户资格 |
工作时间 |
非工作时间 |
| 未授权资格 |
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| 普通资格 |
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| 资深资格 |
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ustc.edu.cn