仪器生产商：
SPTS Technologies
资产编号：
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资产负责人：
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购置日期：
2015-11-12
仪器产地：
美国
仪器供应商：
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购买经办人：
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主要配件：
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主要参数：
HF气体流量：0～1000sccm；无水乙醇气体流量：0～370sccm；工艺氮气流量0～3000sccm；刻蚀速率：100-1000埃/min；最大兼容至8英寸；
分类描述：
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仪器介绍：
通过无水乙醇的催化作用，HF气体与SiO2反应生成可挥发产物SiF4及气态水，并通过真空系
统排出。整个反应过程不生成液态水，避免了液体表面张力及毛细现象对悬空微纳结构的粘连
影响，常用于牺牲层的释放工艺，可以获得良好的表面质量，确保悬空微纳米结构的有效释
放。
主要仪器管理员：
刘文(电话:18156030525)
仪器管理员：
张琨(电话:13856918599)
工作时间：
09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：
0.5 小时
最大可预约时间段：
168 小时
日历最小单位：
0.5 小时
最近提前预约时间：
未授权用户: 24小时；
普通资格用户: 24小时；
资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：
未授权:
720 小时 0 点；
普通:
720 小时 0 点；
资深:
720 小时 0 点
预约保护时间：
15 分钟
失约保护时间：
15 分钟
断电延时时间：
30 秒
最短重上电时间：
5 秒
使用超时提醒：
120 秒
最大有效预约次数：
3 次
无代价撤销预约时间：
1440 分钟
| 用户资格 |
工作时间 |
非工作时间 |
| 未授权资格 |
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| 普通资格 |
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| 资深资格 |
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ustc.edu.cn