仪器生产商:
Panasonic
资产编号:
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资产负责人:
刘文
购置日期:
2015-12-20
仪器产地:
日本
仪器供应商:
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购买经办人:
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主要配件:
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主要参数:
晶圆尺寸:最大6英寸;ICP离子源:3kW(13.56MHz);RF功率:600 W(13.56MHz);反应气体: O2、Ar、Cl2、BCl3、SF6 ;配置ESC静电卡盘
分类描述:
动物行为学研究平台管理设备
仪器介绍:
广泛应用在微纳米加工过程中,利用等离子体和表面薄膜反应,通过真空系统将反应副产物及
时抽出反应腔体,实现各向异性刻蚀,从而保证细小图形转移后的保真性。
工作时间:
09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:
0.5 小时
最大可预约时间段:
168 小时
日历最小单位:
0.5 小时
最近提前预约时间:
未授权用户: 24小时;
普通资格用户: 24小时;
资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间:
未授权:
720 小时 0 点;
普通:
720 小时 0 点;
资深:
720 小时 0 点
预约保护时间:
15 分钟
失约保护时间:
15 分钟
断电延时时间:
30 秒
最短重上电时间:
5 秒
使用超时提醒:
120 秒
最大有效预约次数:
3 次
无代价撤销预约时间:
1440 分钟
用户资格 |
工作时间 |
非工作时间 |
未授权资格 |
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普通资格 |
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资深资格 |
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