反射式光谱膜厚仪利用薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发 生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度；是一种无损、精确且快速的光 学薄膜厚度测量技术。