通过无水乙醇的催化作用，HF气体与SiO2反应生成可挥发产物SiF4及气态水，并通过真空系 统排出。整个反应过程不生成液态水，避免了液体表面张力及毛细现象对悬空微纳结构的粘连 影响，常用于牺牲层的释放工艺，可以获得良好的表面质量，确保悬空微纳米结构的有效释 放。