基本信息

生产厂商 NANYANG JAYTECH(HK) TECHNOLOGY CO,LIMIT
资产编号
资产负责人 ----
购置日期2014-09-28
仪器价格99.00 万元
仪器产地法国
仪器供应商
购买经办人
主要配件
主要参数分为常压模式和真空模式（<5Torr)；采用铂铑热电偶和光学高温计进行温度调控；最高温度：1200℃；典型的升温和降温速率：20-30℃/s；最大支持8英寸样品

仪器介绍

对材料进行快速升温降温处理，广泛用于离子注入后的杂质快速激活、超薄氧化物的快速热氧化、硅化物及其热接触的形成等。