本仪器具有高的分辨率，放大倍率几十倍到几十万倍连续可调，可观察物体二次电子 像、背散射电子像，同时可进行X射线能谱分析： 1. 固体物质表面形貌观察可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。 2. 背散射电子像（BSE）背散射电子可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异，即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度，可判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。