本仪器配备肖特基场发射电子枪，在低电压下仍具有很高的图像分辨率，可观察物体二次电子像、背散射电子像，同时可进行X射线能谱分析和背散射电子衍射分析： 1.固体物质表面形貌观察观察样品时可不喷金或者少喷金，可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。 2.背散射电子像（BSE）背散射电子像可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异，即试样的成分衬度