基本信息

  • 生产厂商 Panasonic
  • 资产编号
  • 资产负责人 刘文
  • 购置日期2015-12-20
  • 仪器价格262.00 万元
  • 仪器产地日本
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数晶圆尺寸：最大6英寸；ICP离子源：3kW（13.56MHz）；RF功率：600 W（13.56MHz）；反应气体： O2、Ar、Cl2、BCl3、SF6 ；配置ESC静电卡盘

仪器介绍

广泛应用在微纳米加工过程中，利用等离子体和表面薄膜反应，通过真空系统将反应副产物及 时抽出反应腔体，实现各向异性刻蚀，从而保证细小图形转移后的保真性。