基本信息

  • 生产厂商 Aglient Technologies Singapore(Sales) PTE.Ltd
  • 资产编号
  • 资产负责人 王秀霞
  • 购置日期2016-04-26
  • 仪器价格99.00 万元
  • 仪器产地新加坡
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数电子枪：场发射电子源 加速电压：0.5 to 2 kV 束流：0.2 to 1 nA 分辨率：<10 nm （@1kV） 放大倍数：250 to 130,000x (2048×2048pixels) 样品尺寸：最大 50×30 mm 样品高度：最大 30 mm

仪器介绍

利用场发射电子束经过光路调控后，投射到样品表面，通过检测激发的二次或背散射电子进行样品 表面形貌成像。台式机主要采用微机电技术将电子光学系统微型化，实现场发射电镜系统的小型 化。