利用三束离子束对样品进行快速离子切割或抛光，避免了机械切割研磨带来的样品表面微观损伤， 可以获得高质量的原位微观形貌信息，为电镜观测提供真实可靠的样品制备。该设备可用于样品的 平面和截面抛光。适用于半导体、聚合物、金属等各种材料。