基本信息

  • 生产厂商 SUSS
  • 资产编号
  • 资产负责人 刘文
  • 购置日期2013-11-21
  • 仪器价格50.50 万元
  • 仪器产地德国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数样品尺寸: 2”,3”,4”,6”以及碎片；厚度均匀性：2%；去除厚胶边；支持针筒式自动滴胶

仪器介绍

真空吸附样品在转盘上，通过旋转使光刻胶均匀地涂布在样品表面，通过设定不同的参数得到不同厚度的光刻胶层