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  • 高精度电子束光刻机

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： JBX-6300FS

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 化学气相薄膜沉积系统

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 5604

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 掩膜制版系统

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： ATD 1500

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 高真空镀膜系统

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Lab 18

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 反应离子金属刻蚀系统

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： SYSTEM100 ICP180

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • ICP刻蚀机

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： SYSTEM100 ICP380

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 等离子体去胶机

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： PlasmaStar200

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 亚微米紫外光刻机

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MA_BA6

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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  • 化学气相沉积系统

    仪器分类： 分子相互作用

    仪器状态：

    所属单位： 中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： PECVD100

    放置房间号： 安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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