离子注入

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： M56100-100

放置房间号： ----

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MOCVD

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Agilis

放置房间号： ----

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热蒸发

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： TH500H

放置房间号： ----

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LPCVD系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Mini-Tystan 3600

放置房间号： ----

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电子束蒸发系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： EBS-150

放置房间号： ----

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等离子体增强原子层沉积系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： R-200

放置房间号： ----

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微波等离子体气相沉积系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： AX5350

放置房间号： ----

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磁控溅射镀膜系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： PVD75 Proline

放置房间号： ----

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电子束蒸发镀膜系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： PVD75 Proline

放置房间号： ----

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紫外光刻系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： NSR2005I10C

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电子束曝光系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： Pioneer two

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湿法清洗刻蚀系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： ----

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ICP低温刻蚀系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： ----

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聚合物刻蚀机

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： NGP80 RIE

放置房间号：微纳研究与制造中心

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金刚石刻蚀系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：按时预约

规格型号： PlasmaPro 100System Cobra180

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