扫描电子显微系统

仪器分类：冷冻电镜

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： SU8220

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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化学气相薄膜沉积系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： 5604

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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湿法清洗台

仪器分类：动物行为学

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： JQX-5

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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湿法刻蚀台

仪器分类：动物行为学

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： SKT-4、SKT-6

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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掩膜制版系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ATD 1500

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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离子束减薄仪

仪器分类：动物行为学

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： EM TIC3X

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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桌面电子扫描显微镜

仪器分类：动物行为学

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： FESEM 8500

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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ICP干法金属刻蚀系统

仪器分类：动物行为学

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： APX300

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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通风厨2

仪器分类：操作台

仪器状态：（单隆坤）

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ESCO,EFA-5UDRVW-8

放置房间号：安徽省合肥市中科大微纳与制造中心

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通风厨3

仪器分类：操作台

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： DM6000M

放置房间号：安徽省合肥市中科大微纳与制造中心

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快速热处理

仪器分类：凝胶成像

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： JetFirst200

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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高真空镀膜系统

仪器分类：分子相互作用

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Lab 18

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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晶圆划片及清洗

仪器分类：切片机

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ADT7100

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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蒸发HF刻蚀系统

仪器分类： X-射线衍射仪

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： UETCH-SYS

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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离子刻蚀机

仪器分类：（待分类）

仪器状态：

所属单位：中国科学技术大学 > 公共实验中心 > 微纳研究与制造中心

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： NGP80 RIE

放置房间号：安徽省合肥市黄山路443号中国科学技术大学西区特种实验楼

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